JEOL 分析型电子扫描电镜

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JEM-2200FS分析型电子显微镜配备场发射电子枪和Ω型内置式能量过滤器(Omega过滤器)。
利用过滤器的功能，不仅可以进行样品中的元素分析，还能分析化学结合状态，从零损失像和能量过滤像中获得感兴趣的有用信息。

镜筒内置式Omega过滤器

镜筒内置式能量过滤器能获取高精度的能量过滤像及电子能量损失谱，优化设计的过滤器能提供无畸变的过滤像。

控制系统

电子枪、透镜、过滤器等电子光学系统、测角台、抽真空系统等全部由计算机控制。系统的稳定性高，因此能获得稳定的数据

成像系统

采用四级中间镜和两级投影镜的新成像系统，在很大的倍率和相机长度范围，实现了TEM像及衍射花样的磁转角补偿（无磁转角）。

压电陶瓷控制测角台

新的测角台采用了压电陶瓷，能顺利操作原子级的视场搜索。

物镜种类*1	极高分辨率（UHR）型	高分辨率（HR）型	样品高倾斜（HT）型	样品冷却（CR）型	高衬度（HC）型
分辨率
点分辨率　晶格分辨率	0.19 nm 0.1 nm	0.23 nm 0.1 nm	0.25 nm 0.1 nm	0.27 nm 0.14 nm	0.31 nm 0.14 nm
能量分辨率	0.8 eV（零损失 FWHM）
加速电压	160 kV，200 kV*2
最小步长　能量位移	50 V 最大3,000 V（以0.2V为步长）
电子枪
发射体	ZrO/W(100) 肖特基式
亮度	≧4×108 A／cm2 ・ sr
真空度	×10-8 Pa 级
探针电流	探针直径为１ nm ，在0.5 nA以上
稳定度
加速电压	≦1×10-6／min
物镜电流	≦1×10-6／min
过滤器电流	≦1×10-6／min
物镜
焦距	1.9 mm	2.3 mm	2.7 mm	2.8 mm	3.9 mm
球差系数	0.5 mm	1.0 mm	1.4 mm	2.0 mm	3.3 mm
色差系数	1.1 mm	1.4 mm	1.8 mm	2.1 mm	3.0 mm
最小焦距步长	1.0 nm	1.4 nm	1.8 nm	2.0 nm	5.2 nm
束斑尺寸
TEM 模式	2 ～ 5 nm				７～30 nm
EDS 模式	0.5 ～ 2.4 nm		1.0 ～2.4 nm	-	4 ～20 nm
NBD 模式			1.0 ～2.4 nm	-	-
CBD 模式			1.0 ～2.4 nm		-
电子束衍射
衍射角(2α)	1.5 to 20 mrad or more				-
取出角	±10 °				-
倍率
MAG 模式	×2,000 ～ 1,500,000	×2,000 ～ 1,200,000	×1,500 ～ 1,000,000		×1,200 ～ 600,000
LOW MAG 模式	×50 to1,500
SA MAG 模式	×10,000 ～ 800,000	×8,000 ～ 600,000	×8,000 ～500,000		×5,000 to 400,000
能量过滤像有效视场大小	80 mm dia. on final image plane (film) when 10 eV is selected 25 mm dia. on final image plane (film) when 2 eV is selected
相机长度
选区电子衍射	150 ～ 1,500mm	200 ～ 2,000 mm		250 ～ 2,500 mm	300 ～ 3,000 mm
EELS 散射
狭缝上	1.2 μm／eV, 200 kV
最终像平面	50 ～ 300 μm／eV, 200 kV
样品室
移动量(XY / Z)	2mm／0.2mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm
倾斜角(X / Y)*3	±25°／±25°	±35°／±30°	±42°／±30°	±15°／±10°	±38°／±30°
倾斜角(X)*4	±25°	±80°	±80°	±80°	±80°
EDS*5
固体角*6	0.13 sr			-	0.09 sr
取出角	25°			-	20°

*1 : 订货时请选择物镜种类。
*2 : 加速电压80、100、120 kV时，可使用加速管短路开关（选配件）
*3 : 使用双倾样品杆
*4 : 高倾斜样品台使用
*5 : EDS为选配件
*6 : 安装30mm2 检测器时的数值

类型

物性测试

品牌

日本电子（JEOL）

型号

JEM-2200FS

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